連于慧 2024/11/13
台積電今日在中科舉辦「台中零廢製造中心商轉典禮」，台積電執行副總經理暨共同營運長秦永沛表示，這是半導體產業第一座資源循環場域，也是台積電與台灣環保廠商共同合作的重要成就。今日親自出席該典禮的有台積電資深副總經理暨企業永續委員會主席何麗梅、環境部部長彭啟明、國科會主任委員吳誠文，出席的三大協力合作廠商有長春石化總經理蔡智全、成信實業董事長陳鵬、立盈環保科技總經理陳俊琦。
台中零廢製造中心為全球業界領先並為台灣第一座的整合型能資源循環場域，是台積電第一座循環經濟示範中心，其確保園區廢棄資源不外流，所純化而成的電子級與工業級化學品，可重回台積電的製程與其他產業使用，開創嶄新的循環經濟模式。
台中零廢製造中心達成幾個目標：
⚫ 所產出的再生產品已成功100％達到允收標準，提供給台積電及其他產業作為再利用的原物料
⚫ 以全廠區滿載計，每年可為台積電減少13萬公噸廢棄物委外處理量，佔台積電中科廠區廢棄物總量的85%以上，創造逾新台幣12億元回收減廢效益
⚫ 邁向淨零排放，台中零廢製造中心為台灣第一個導入「薄膜碳捕捉技術」的示範場域，與環境部共同發展薄膜碳捕捉技術，後續將導入一般廢棄物熱處理(焚化)設施焚化爐，減少碳排放
⚫ 以環境損益分析(EP&L)價值轉換係數與現行傳統委外處理模式比較，台中零廢製造中心每年約可減少約新台幣 15 億元之環境成本(不含前述委
外廢棄物減量之回收減廢效益),其中包括每年 4 萬公噸的減碳效益,相當於超過 110 座大安森林公園的負碳量。
台積電減碳長期目標：
⚫ 實踐聯合國第 12 項永續發展目標，朝 2050 年淨零排放願景邁進。
⚫ 2023年台灣廠區廢棄物回收率達 96%，連續 9 年達成或超越95%，掩埋率連續 14 年小於1%。
⚫ 在址廢棄資源再生技術截至 2024 年已可再製逾 6 類再生產品，於晶圓廠內循環使用，或提供其他產業循環使用(例如化學工業)。
台中零廢製造中心簡介：
⚫ 座落於中部科學園區，比鄰封測五廠
⚫ 建設時程Ｌ：從2018年展開建設規劃，一直到2023年正式試運轉，2024年心啟動商轉，
⚫ 建築占地總面積：4.5 萬平方公尺,約等同於 6 座標準足球場，地上 3 層、地下 2 層
⚫ 台積電建置廠務中央供應系統，攜手長春石化、成信實業與立盈環保科技等協力廠商進駐建設四大回收處理廠區。
◼ 氟化鈣污泥回收廠:
使用於半導體之蝕刻與清洗製程的氫氟酸所產生之氫氟酸廢水，經氟酸化混程序後產生氟化鈣污泥。氟化鈣污泥經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌，再導入成型機造粒與乾燥後，生成人造螢石，可作為助熔劑應用於鋼鐵業。 零廢製造中心氟化鈣污泥回收廠每月收受量為1,500 公噸,可產出人造螢石量為 750 公噸。
◼ 氧化矽污泥回收廠:
使用於半導體研磨製程之研磨液，所產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥。氧化矽污泥以乾燥、焙燒、浸漬程序區分固相與液相，固形物經過再乾燥與表面改質後生成礦石粉，可用於塑膠、陶瓷等工業應用，而液相產品硫酸銅則可做為工業原料。零廢製造中心氧化矽污泥回收廠每月收受量為 800 公噸,可產出填料量為480 公噸。
◼ 有機溶劑熱回收廠:
使用於半導體清洗製程之有機溶劑，用以去除晶圓表面之光阻與有機物。廢混和有機溶劑經燃燒爐熱裂解後，產生之高溫煙道氣經鍋爐熱回收,產出蒸氣於零廢中心內使用。零廢製造中心有機溶劑熱回收廠每月收受量為 1,300 公噸,可產出每小時15 公噸之蒸氣。未來將評估導入煙道氣碳捕捉技術，達成零廢棄、淨零排放目標。
◼ 異丙醇回收廠:
使用於半導體清洗製程之異丙醇，用於晶圓清洗與濕式蝕刻製程之乾燥用溶劑。廢異丙醇經蒸餾去除部份水份後產生共沸，將添加共沸劑破除限制，再精餾成電子級異丙醇。零廢製造中心異丙醇回收廠每月收受量為 2,300 公噸,可產出再生異丙醇量為 300 公噸。
◼ 落實廢棄物管理:
透過鄰近台積公司既有廠區之專區管理,就近監控,確保資源再生程序穩定運作;同時,減少廢棄物委外運輸及處理,以透明足跡降低非法棄置風險。