台積電總裁魏哲家上周進行了一趟非常重要的“歐洲行”,拜訪了三家與延續摩爾定律息息相關的歐洲半導體企業,分別是荷商ASML、德商蔡司Zeiss和德商創浦TRUMPF。
ASML執行長Christophe Fouquet在Linkedin上表示,上週在企業總部Veldhoven接待了魏哲家,且藉由此寶貴機會強化ASML和台積電的緊密合作關係。並且展示了ASML最新產品和創新技術,透過改善EUV曝光機平台,持續推動半導體技術往前。
Christophe Fouquet進一步指出,在ASML生產最新0.33 NA EUV系統的EUV工廠中,與魏哲家分享了 TWINSCAN NXE:3800E曝光機如何以更具成本效益的方式來生產最先進的製程技術。此外,在比利時微電子imec ASML EUV High NA 實驗室中,也展示了高數值孔徑極紫外光微影設備(High NA EUV)如何支援多個未來的製程技術節點。
ASML特別強調要和生態系統合作夥伴德國蔡司Zeiss、雷射源供應商創浦TRUMPF、荷蘭VDL集團強化聯盟力量,以達成延續摩爾定律的目標。
Christophe Fouquet更強調,ASML與客戶的關係是由對創新和技術進步的共同承諾所推動的。ASML與台積電的合作關係體現了這一宗旨:近四十年來,它建立在信任、協作和對卓越的承諾的基礎上。
Christophe Fouquet剛於4月接下ASML執行長一職,但這並非是與魏哲家的首次會面。Christophe Fouquet當時以ASML商務長的身份,與ASML前執行長Peter Wennink年初曾進行亞洲巡訪客戶,拜訪台積電總部自然是當時重要行程之一。
眾所皆知,針對ASML最新一代、一台要價4億美元的High NA EUV曝光機設備,英特爾的採用意願非常積極且下了訂單,台積電維持過往的保守風格,非常謹慎評估,不會輕易在轉進新一代製程技術的第一版,就導入最先進的設備。
另外,從ASML日前端出的2024年第一季財報可知,中國營收貢獻仍是該公司支柱,但隨著美國的出口管制越來越嚴格和逐季落實,ASML勢必要找尋更多的營收來源。業界認為,說服台積電早日導入High NA EUV曝光機設備,並且下訂單,會是兩家公司下一步的關鍵發展,且是雙方高層會面的重點,包括這次魏哲家親訪ASML總部。
德國蔡司Zeiss半導體也在Linkedin上提到了魏哲家拜訪總部Oberkochen。擁有獨特歷史的蔡司,總部位於德國西南部巴登-符騰堡州(Baden-Württemberg)的Oberkochen鎮,該小鎮的人口僅8000人,卻掌握著全球最精密、最先進的半導體晶片設備的反射鏡和透視鏡。
蔡司是ASML非常重要的技術合作夥伴,是ASML唯一的鏡頭供應商。蔡司不但擁有獨特的微影和光罩系統技術,手上更有超過2,000個與EUV微影設備相關的關鍵技術專利。2016年ASML曾收購蔡司子公司蔡司半導體24.9%股權,為的就是發展High NA EUV設備。
ASML前執行長Peter Wennink曾說過,沒有蔡司的光學器件,ASML將無法生產極紫外光EUV曝光機設備,而沒有EUV曝光機,也無法生產人工智慧AI、自動駕駛這些尖端技術的晶片。
蔡司在ASML開發先進製程技術曝光機的重要性上,可從另一件事來看出端倪。早在今年4月,三星電子會長李在鎔就搶先魏哲家一步,先去德國總部拜訪蔡司,雙方共表示要加強晶片製造的合作,提高晶片良率和效能。這次魏哲家拜訪蔡司德國總部,應該也是有「固樁」的意思。